抄録
近年,益々高精度で微細な切削加工が求められており,工作機械精度のみならず工具そのものの高精度化が重要な課題となっている.そのためには,工具形状の高精度計測技術の確立が不可欠である.そこで,本研究では,小径工具の切れ刃プロファイルを,工具を回転させながらサブマイクロメートルの精度で測定する,オンマシン計測に適用可能な測定評価技術の開発を目的としている.本計測法に基づいて開発した測定装置では,工具が0.5mm以下の小径工具において,約15nmの分解能で切れ刃プロファイルの計測が可能であることが確認されている.今回は,本測定法に大きな影響を及ぼす工具回転振れの誤差解析を試みた.
