小型座標計測装置のための三次元接触角検出プローブの開発 第2報

小倉 一朗; 岡崎 祐一

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.414.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: G65

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.414.0

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主催: 社団法人精密工学会

知的精密計測(4)

小型座標計測装置のための三次元接触角検出プローブの開発第2報

*小倉一朗, 岡崎祐一

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キーワード: 座標計測装置, プローブ, 形状測定

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抄録

小型三次元座標測定装置に搭載可能な接触式プローブの開発について述べる.本システムはプローブ先端球を微小円運動させ,プローブと測定試料の接触信号と円運動の位相を比較することによって,プローブの接触方向角を三次元内で検出することが可能である.角速度検出用ジャイロにガラス細線とガラスビーズを取り付けたマイクロプローブを試作した.これを用いて校正実験,形状測定予備実験を行った結果について報告する.

責任著者(Corresponding author)

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