三次元形状測定データ郡の接続による機能面の全体測定に関する研究

抄録

レーザー顕微鏡では視野が限られ,また測定箇所により反射光量が異なるため,一度の測定で広い領域かつ高い高さ方向の表面形状を得ることは非常に困難である.そこで本研究では表面形状の測定データを高さ方向と平面方向に接続することにより,高分解能・広視野できるツールを共焦点顕微鏡を用いて開発した.