超高精度歯車測定機の開発

第2報　測定精度の評価(仮組立てに於ける)

抄録

サブミクロンオーダの高精度歯車を製作する要求に応ずるため超精密歯車精度測定機を開発した。機構は直交XYZ軸回転θ軸を持ち、純機械系オープンループで構成する。第2報として、レーザ測長機による各軸の送り精度および真直度測定、さらにピンマスターによる測定精度の評価を行い、サブミクロン台の精度保障が得られ、更に高精度な目標に向かって開発を進めている。