フリッティングを用いた低接触力MEMSプローブカードのための静電駆動マイクロプローブの開発(第2報)

静電駆動マイクロプローブの特性

抄録

本研究では、フリッティングコンタクト手法を利用した静電駆動マイクロプローブの開発により、プローブ・電極間の接触力をコントロールし、同時にコンタクトスイッチングが可能な低接触力MEMSプローブカードの実現を目指す。本発表では、上方に反ったマイクロプローブとグラウンド電極間に電圧をかける静電駆動プローブの設計と作製を行い、プローブの機械的特性、静電容量、フリッティング特性についての報告を行う。