カーボンナノチューブ探針を用いた高アスペクト比ナノスケール穴加工法の開発 引き上げ法によるカーボンナノチューブ探針の簡易作製

有馬 則和; 松室 昭仁

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.511.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: I24

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.511.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

表面ナノ構造・ナノ計測

カーボンナノチューブ探針を用いた高アスペクト比ナノスケール穴加工法の開発

引き上げ法によるカーボンナノチューブ探針の簡易作製

*有馬則和, 松室昭仁

著者情報

キーワード: カーボンナノチューブ探針, 走査型トンネル顕微鏡

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抄録

これまでに本研究では,カーボンナノチューブ(CNT)をSTMの探針に用いることで高アスペクト比ナノスケール穴加工を可能にした.その際使用したCNT探針は,我々が考案した引き上げ法により作製した自作探針である.作製時間は1本当り約5秒,作製率は70%という高確率を実現し,現行の作製法では困難である低コストかつ量産を可能にした.本講演では,その作製法ならびに加工について報告する.

責任著者(Corresponding author)

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