光硬化性樹脂による金属マスクを利用したマイクロ形状の作成に関する研究

抄録

光硬化性樹脂を用いたマイクロ造形に関する研究は近年盛んに行われており、造形法としては主に積層法が用いられている。積層法は高精度の造形を行う場合、積層回数の増加に伴う造形時間の増加と積層面の段差が問題となっている。 本研究では、マイクロ部品の大量生産を目的とし、光硬化性樹脂による金属のマスクを利用した形状作成法を提案する。寸法数百μmの部品形状の作成実験と結果についての評価を行った。