テレスコピックリニアアクチュエータの高真空中での駆動

袴田 恵世; 新野 俊樹

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.552.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: J04

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.552.0

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主催: 社団法人精密工学会

圧電アクチュエータとその応用デバイス(1)

テレスコピックリニアアクチュエータの高真空中での駆動

*袴田恵世, 新野俊樹

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キーワード: 圧電素子, 精密位置決め, 可変長, 超高真空, 非磁性

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抄録

電子顕微鏡における試料導入機構の単純・小型化を目指し,長さが可変であるテレスコピックリニアアクチュエータを開発している.真空容器外部からアクチュエータを加振させることによって真空中での駆動が可能である.真空容器にベーク処理を施し,到達圧力4.6x10^-8Paにおけるアクチュエータの駆動についての報告を行う.駆動中,圧力は約3.0x10^-7Paまで上昇し,駆動速度は約2.5mm/sを得た.

責任著者(Corresponding author)

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