超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の開発 メタルロータを用いての超高真空中での駆動特性の向上

遠藤 康博; 新野 俊樹

doi:10.11522/pscjspe.2004S.0.554.0

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: J06

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.554.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

圧電アクチュエータとその応用デバイス(2)

超音波モータを用いた超高真空対応回転導入器の開発

メタルロータを用いての超高真空中での駆動特性の向上

*遠藤康博, 新野俊樹

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キーワード: 超高真空, 超音波モータ, 回転導入器

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抄録

筆者らは,超高真環境で電子線を用いて微細構造物の加工や観察を行う機器内の機械要素として,超音波モータの真空適応性に着目し,真空対応の回転導入器を開発している.本報では,駆動性能の向上に効果が見られたテーパ形の摩擦駆動面に,銅のロータを用いて200℃のベーク処理を行い,超高真空中での駆動性能の向上を目指した.

責任著者(Corresponding author)

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