ボールねじ熱膨張の補正による位置決め精度向上の研究

(第3報　熱膨張量実測値の精度向上)

抄録

ボールねじ熱膨張量の実測値の測定においては、テーブル駆動時の加速・減速による反力が測定値に影響を及ぼす。その対策として、テーブルが一定速度に達するストローク中央でのデータをサンプリングするため、サンプルホールド素子を用いた回路を作成し、テーブルの加速・減速による影響がない状態を実現する方法について報告する。