レプリカグリーンシートを用いた微細パターンの作成

抄録

あらかじめフォトリソグラフィーによってパターンの施されたドライフィルムシートを作成する。このシート上にドクタブレードを用いて微粉末を含有するスラリーを塗布し、レプリカパターンの転写されたグリーンシート(レプリカグリーンシート)を得た。本発表ではレプリカグリーンシートの作成法、あわせて、グリーンシート、焼成の施された焼結体、それぞれの評価についても報告する。