高強度Ni基金属ガラスを用いた超精密歯車の作製

抄録

高強度金属ガラス材料によりマイクロマシン部品を創成することを目的として、Ni基金属ガラス製超精密歯車の作製を行った。新たに開発した高圧射出成形装置により、従来では5点の部品を組み立てて作製していた太陽キャリアと呼ばれる超精密歯車を一体成形で作製することに成功した。太陽キャリアの歯車部直径は0.65mm、モジュールは0.04である。さらに、作製した太陽キャリアをギヤドモーターへ組み込み、初期特性を評価した結果を報告する。