貝殻セラミックススラリーによるシリコンのポリシング

精密工学会学術講演会講演論文集

2004年度精密工学会春季大会

セッションID: B15

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2004S.0.77.0

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主催: 社団法人精密工学会

研磨加工技術の新展開(1)

貝殻セラミックススラリーによるシリコンのポリシング

*中村等, 庄司克雄, 若松義信

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キーワード: 貝殻セラミックス, シリコン, ポリシング, 遊離砥粒

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抄録

粉砕した貝殻を焼成した「貝殻セラミックス」を用いたスラリーによるシリコンウェハのポリシングについて述べる.

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© 2004 公益社団法人　精密工学会

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