光放射圧制御マイクロ工具によるナノ加工に関する研究 (第二報)

振動型加工ツールの基礎特性

抄録

マイクロマシン技術の発展に伴い,ナノメートルオーダの局所的な研磨,仕上げ加工法が必要となっている.本研究では,集光したレーザによる光放射圧を利用して捕捉した微粒子を工具として加工を行う手法を提案し,捕捉微粒子操作により制御を行う新たな加工法の開発を目的としている.本報告では,ガルバノミラーを用いて加工ツールの横方向振動を試み,その基礎特性の調査を行ったのでこれを報告する.