ジルコニアセラミクス製部品内壁面の高速流動研磨加工

内径拡大制御に関する検討

抄録

高速流動研磨法を用いて,ジルコニアセラミクス製部品の小径穴(φ0.125mm)内壁面の精密研磨を行った.本研究では,穴の真円度を損なわずに内径を拡大させることについて検討した.実験の結果,パス回数の増加に伴って表面粗さは低減し,その内径は拡大した.また,真円度は加工前と加工後で,ほとんど変わらないことがわかった.加工後の部品の差圧を測定した結果,内径と相関があることが確認された.