複合粒子研磨法における研磨スラリーのリサイクル

抄録

複合粒子研磨法ではポリマ微粒子と砥粒の混在した独特な研磨スラリーが使われている。このスラリーは研磨時間とともに切り屑の生成や組成変化などによって研磨性能が低下していく。そこで,研磨工程の安定性を維持することと,ポリマ微粒子の性能を最大限に生かことを目的にし,性能の低下した研磨スラリーの性状を調べた上,効率のよいリサイクル方法を開発することにした。本報では特に使用済みスラリーの性状調査とポリマ微粒子の分離についてを検討した。