複合粒子研磨法における工具プレートの溝形状に関する検討

抄録

複合粒子研磨法においては,キャリア粒子や工具プレート等の機械的あるいは化学的な役割を学術的に明らかにし,その特性・役割を最適化する必要がある.そこで,本報告においては,単結晶シリコンウェーハの片面研磨を対象として,工具プレートの溝パターン,溝深さ,硬度,物性,面性状(ドレシング,フェイシングの有無)が,単結晶シリコンウェーハの「ふちだれ」「除去能率」「表面粗さ」「うねり」に与える影響について検討した結果を報告する.