精密工学会学術講演会講演論文集
2005年度精密工学会秋季大会
セッションID: F13
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曲面・微細形状・機能性材料の超精密加工と計測(3)
高速ピエゾステージによる非軸対称非球面形状の加工と評価
*山形 豊鈴木 浩文樋口 俊郎飯田 勝彦吉田 和史牧野 清俊大森 整
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抄録

高速·高剛性なピエゾステージとリニアモータによる4軸超精密加工装置を組み合わせ、小径の非軸対称非球面形状の加工を行った。前報では装置の概略構成について報告したが、本報では、加工装置の高速化と加工形状の詳細な評価について報告する。

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© 2005 公益社団法人 精密工学会
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