マイクロレンズアレーを利用したマイクロ光造形に関する研究 オーバーハング形状の試作

野口 裕之; 安部 新一; 村川 正夫

doi:10.11522/pscjspe.2005A.0.81.0

2005年度精密工学会秋季大会

セッションID: B02

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005A.0.81.0

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ・ナノ加工とその応用(3)

マイクロレンズアレーを利用したマイクロ光造形に関する研究

オーバーハング形状の試作

*野口裕之, 安部新一, 村川正夫

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キーワード: 光造形

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抄録

従来の光造形装置では,同時に多数個の製品を作る性能は有していない.この理由は,例えばレーザーなどの1つの光源を使用しているためである.一方,複数個を同時に造形するために複数個の光源を使用することは高価となる.本実験では,同時に複数個のマイクロ部品を製作するために、デジタルミラーデバイス(DMD)プロジェクターとマイクロレンズアレーを使用した.新たにマイクロレンズアレーを使用した多点光造形法を考案した.

責任著者(Corresponding author)

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