フェムト秒レーザによる微細加工法に関する研究

抄録

近年、レーザ微細加工が盛んに行なわれるようになった。特に超短パルスレーザにおける微細加工の進展は目覚しい。本報では、フェムト秒レーザを用いた新たな微細加工法の可能性を見出したので報告する。