マイクロノズルアレイを有する液晶吐出システムの開発

貞光 貴裕; 土屋 健介; 濱口 哲也; 中尾 政之

doi:10.11522/pscjspe.2005A.0.959.0

2005年度精密工学会秋季大会

セッションID: L09

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005A.0.959.0

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主催: 社団法人精密工学会

マイクロ/ナノシステム（旧マイクロメカニズム）(2)

マイクロノズルアレイを有する液晶吐出システムの開発

*貞光貴裕, 土屋健介, 濱口哲也, 中尾政之

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キーワード: 液晶デバイス, ノズル, ナノリットル

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抄録

小型液晶デバイスにOne Drop Fill法を用いるために,nlオーダーで液晶を吐出可能な液晶吐出システムを開発した.厚さ0.5mmのステンレス板に直径0.1mmの貫通穴を9つあけた.その板に液晶を塗布し,貫通穴からあふれた液晶をシリコーンゴムで除く.その後,圧力をかけて液晶を吐出した.試作したシステムを用いて液晶を吐出し,吐出量が27.4nl,変動係数4.9%という値を実現した.

責任著者(Corresponding author)

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