陰影領域回折像を用いた3次元微細形状情報の検出 (IV)

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: E01

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主催: 社団法人精密工学会

メカノフォトニクス(1)

陰影領域回折像を用いた3次元微細形状情報の検出 (IV)

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キーワード: 3次元, 光, 回折, 干渉, 微小凸

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抄録

一軸方向からの光入射による3次元平面上に存在するミクロンサイズの微粒子の作る陰影領域回折像を定量·定性的に考察し,位置情報の解析手法を検討してきた.本報告では,複数連続あるいは連続凸の位置や形状情報の解析法について報告する.また,実際計測に対応した計測基準の測定法についても報告する.