順送り型マイクロ成形システムによる光造形

抄録

3次元微小部品を作成するために、金型製作方式の一つである順送り型を応用したマイクロ成形装置を開発した。この装置は、一列に配置した複数のキャビティに光硬化性樹脂を充填し、順次紫外線を照射することにより、キャビティ形状を積層し、3次元形状を作成するものである。この装置を用いて成形を行った結果、数100μmレベルの3次元微小部品を作成することに成功した。