光硬化性樹脂を用いたマイクロピラーの作成

抄録

本研究では、光成形法により短時間でマイクロピラーを作成した。この方法はマイクロメートルレベルの形状を持つマスクに紫外線を照射することにより、高アスペクトのピラーを作成する。厚さ数十μmの金属板にレーザで穴あけ加工を施し、必要箇所以外の紫外線を遮るためのマスクを作成した。これにより二次元的なマスクから積層を行わずに三次元的な形状を作成した。