スポット光投影方式2次元形状高速測定装置の開発

抄録

機械部品の2次元形状を高速で測定する装置を開発した。照明用光源としてコア直径50μmの光ファイバを用い、これをハロゲンランプで照明したスポット光を使用した。試料側面で反射した光を対物レンズで検出し、反射スポット光をプログレッシブCCDカメラで検出する。これによって試料側面位置1点の測定時間を短縮した。試料としてネジゲージを用いた場合、一山の測定時間を1秒以下にした。なお測定誤差は1μm以下である。本報告はネジゲージを測定した結果を示す。