小径穴内面溝形状光学式測定装置における測定誤差の理論的·実験的解析

青木 法久; 秋山 伸幸; 吉田 昌弘; 桑原 和寿

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.244.0

抄録

磁気ディスクの軸受に用いられる動圧軸受には,内面に幅0.3～3.0mm,深さ4～30μm程度の溝が加工されている.本研究室では,この内面溝を測定するためにピンホール投影像を試料内面に投影し,その反射像を検出することにより内面溝の形状を測定する装置を開発し,測定誤差を解析してきた.本研究では,内面溝を測定する際の光学系に着目し,レンズに存在する球面収差が測定誤差に与える影響を解析した.

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責任著者(Corresponding author)

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