非平面への微細パターン形成のための計算機合成フレネルホログラムの開発

西田 茂生; 堀崎 遼一; 菊田 久雄

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.252.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: E53

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.252.0

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主催: 社団法人精密工学会

メカノフォトニクス(6)

非平面への微細パターン形成のための計算機合成フレネルホログラムの開発

*西田茂生, 堀崎遼一, 菊田久雄

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キーワード: 計算機合成フレネルホログラム, パターン投影, フレネル回折

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抄録

本研究では,曲面上にパターン形成するフレネルホログラムの設計を行い,数値シミュレーションによりパターニング精度を見積もった.ホログラムは光の利用効率が高い位相型ホログラムと作製が容易な振幅型ホログラムを考えた.設計は非平面を平面の和として扱い,100層のCGHを設計したところ,設計像を直径5mmの半球面上に再生できた.一方,実験においては,振幅透過型のホログラムを設計·作製し,設計像が差制されることを確認した.

責任著者(Corresponding author)

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