アライメント作業のための位相一定計算機合成フレネルホログラムの開発

抄録

本研究では,空間の任意の位置に回折パターンを形成する計算機合成フレネルホログラムを用いて空間上に光スケールを設け,これを利用して物体の位置決めを行う方法について提案を行う.また,具体的に位相型および振幅型の計算機合成フレネルホログラムの設計を行い,計算機による再生画像をもとに位置決めの精度を見積もった結果,位相型では10mm角のホログラムにおいて,5cmの再生距離で距離分解能0.1μm,角度分解能6°であった.