面型パターン照明を用いた凹凸判定機能付き欠陥検査法の開発

抄録

微小な欠陥の検査において,面型パターン照明が有効であることはいくつかの報告で示されている.本研究では,面型パターン照明を用いた手法において,画像中の欠陥像を抽出する際に問題となるバイナリパターン像を除去するための画像処理手法の開発,および三角形の市松模様に着目し,その特性を利用した欠陥の凹凸判定を含んだ外観検査手法の開発に取り組んだのでこれを報告する.