レーザトラッピングを用いた微粒子の分別に関する研究

抄録

セラミックスなど微粒子の製造工程では、製造装置本体からの異物(微粒子)の混入が問題となっている。そこで本研究では、微粒子の種類による界面での光学特性の違いを利用して分別する手法の検討を行っている。本報では、レーザトラッピングを用いた分別法の研究成果について報告する。