精密工学会学術講演会講演論文集
2005年度精密工学会春季大会
セッションID: F52
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マイクロ・ナノ加工とその応用(6)
レーザ照射による金属の隆起現象を利用した3次元微小構造物の作製(第2報)
加工雰囲気の影響
*土屋 寛之池野 順一澁谷 秀雄
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抄録
第一報では、ステンレスに小出力のレーザ光線を照射すると、表面で隆起現象が生じることを報告した。この隆起現象を利用すれば、金属表面に微細な3次元構造物ができることも明らかにした。本報では、現象が加工雰囲気でどのような影響をうけるかについて調査し、現象の特性把握、隆起メカニズムの解明を試みたので報告する。
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© 2005 公益社団法人 精密工学会
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