TDSを用いたSOGの電子ビーム露光メカニズムの解析

抄録

SOGの電子ビーム露光による内部結合状態の変化は、FT-IRおよびXPSを用いた解析により焼成が進むのと同じであるとされてきた。しかし今回、Thermal Desorption Spectroscopyを用いたより詳細な調査により、露光により切断される結合部位と焼成により切断される結合部位には違いがあることが明らかとなったので報告する。