エキシマレーザー加工の基礎研究

抄録

昨今のナノテク,バイオ,マイクロマシン等の技術の進歩は目覚しく,微細加工技術の発展は必要不可欠である.我々は,エキシマレーザーを用いて,金属,樹脂等の材料に対しての加工特性の調査を行い,様々な条件下においてレーザーを照射し,得られた形状の観察,測定を行った結果に関して報告する.