粉末レーザアブレーション溶射装置の開発 II

抄録

大気圧で密度の高いカーボン皮膜形成を目指して、短パルス·短波長のレーザを粉末に照射しアブレーションさせる皮膜形成装置を開発している。粉末は粒径3 μmを使用しアシストガスにより供給した。アシストガスには空気とCO₂を混ぜたものを用いたがCO₂の比率が多くなると膜厚は減少した。成膜したカーボン膜を電子顕微鏡とX線回折分析で分析したので報告する。