電子ビーム露光によるSOGのドーズによる特性

抄録

SOGに電子ビームを照射して露光を行い、バッファードフッ酸により現像行ったところ、ドーズにより深さが変化した。SOGは有機レジストのPMMAやZEPと比べ各ドーズに対して深さが制御できることがわかった。