標準ナノ粒子を用いたナノパーティクルカウンタの検出精度評価

抄録

本研究では、光散乱法を用いてSiウエハ表面上のパーティクルをナノメートルオーダの感度で計測できるナノパーティクルカウンタの開発を行っている。これまでに、直径37nmの標準ナノ粒子を検出した報告はあるが、30nm以下の報告はまだない。そこで今回、直径28nmの標準ナノ粒子を用いてナノパーティクルカウンタの検出精度を評価したことについて報告する。