熱脱離によるSOGの現像

抄録

SOGに電子ビーム露光を行い、現像液を用いず、電気炉にて加熱処理を施すことで現像されたことが確認できた。現像液と熱脱離による加工状況を比べ報告する。熱脱離を用いることで、露光装置内での現像が可能になり、加工工程を減らすことができることや、現像液を用いない点でも、環境対策に有効であると考える。