ガラス状カーボンの電気化学加工法に関する研究

和田 紀彦; 高橋 正行; 室 真弘

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.481.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: I70

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.481.0

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主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状・機能性材料の超精密加工と計測(2)

ガラス状カーボンの電気化学加工法に関する研究

*和田紀彦, 高橋正行, 室真弘

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キーワード: ガラス状カーボン, 鏡面加工, ガラスレンズ, 型

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抄録

光学部品のガラスプレス型材料として用いられているガラス状カーボンに対して,脱イオン水を加工液として工具電極との間に電圧を印加することにより電気化学的に加工することができる.本加工法では極間の加工状態を制御することによりナノメートルオーダーの面粗さを得ることができる.本研究では加工時の発生ガスの分析結果および加工特性について検討した.

責任著者(Corresponding author)

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