超音波援用マイクロ非球面研磨に関する研究(第5報) 各種型材の研磨特性の検討

鈴木 浩文; 河守 良太; 宮原 充; 沖野 正; 山本 雄士; 土方 祥雄; 森脇 俊道; 近藤 光男; 日比 倫夫; 安田 亀代司

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.483.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: I74

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.483.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状・機能性材料の超精密加工と計測(3)

超音波援用マイクロ非球面研磨に関する研究(第5報)

各種型材の研磨特性の検討

鈴木浩文, *河守良太, 宮原充, 沖野正, 山本雄士, 土方祥雄, 森脇俊道, 近藤光男, 日比倫夫, 安田亀代司

著者情報

鈴木浩文
神戸大学　工学部　機械工学科
*河守良太
神戸大学　工学部　機械工学科
宮原充
豊橋技術科学大学　生産システム工学系
沖野正
神戸大学　工学部　機械工学科
山本雄士
神戸大学　工学部　機械工学科
土方祥雄
神戸大学　工学部　機械工学科
森脇俊道
神戸大学　工学部　機械工学科
近藤光男
協伸産業
日比倫夫
協伸産業
安田亀代司
協伸産業

キーワード: マイクロ非球面研磨, 遊離砥粒研磨, 超音波振動, 光学部品, 仕上げ研磨, 基本的研磨特性

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抄録

本研究では,微小なポリッシャに超音波振動を付加し,遊離砥粒により研削加工面を仕上げ加工する新しい方法を提案し,卓上型の3軸制御のマイクロ研磨装置を開発した.これまでポリシャに遊離砥粒を掛けながら超音波を付加することにより微小な加工痕が得られることを確認し,これを滞留時間制御することによりマイクロ非球面の形状創成が可能であることが明らかになった.本報では,無電解ニッケル,グラッシーカーボン,超硬,SiCなどの型材に適用し,その研磨特性について検討したので報告する.

責任著者(Corresponding author)

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