エキシマレーザーにより加工したGC型による耐熱性ガラスの微細ホットエンボス成形

抄録

FIB加工以外の型加工法として幾つかの加工法を試みた。そのひとつとして、エキシマレーザーを用いて、複雑形状(マイクロギア)の型加工を行った。加工した型を用いて耐熱性ガラスのほぅとエンボス成形を行い、成形条件(加熱温度、加圧力および加圧保持時間等)とガラス製品精度との関係を求めた。また、型内部の空気抜き用溝の有無による成形性についても調べた。