X線タルボ干渉計用回折格子の作製

抄録

現在、X線の位相情報を用いた撮像手法が注目されてきている。本手法では振幅回折格子と位相回折格子で構成されるX線タルボ干渉計を用いて、位相情報を強度情報に変換して撮像情報を得る。この手法については原理実験を終えており、今後は生体の観察を視野に入れた観察範囲の高精度化、大面積化が求められる。今回、線幅4μm、アスペクト比が3以上、パターンサイズ20mm角の回折格子を作製した。