サーフェスエンコーダ用基準面の大面積レプリケーションに関する研究

平林 龍太郎; 鶴見 直也; 高 偉; 清野 慧

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.631.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: L22

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.631.0

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主催: 社団法人精密工学会

知的精密計測(3)

サーフェスエンコーダ用基準面の大面積レプリケーションに関する研究

*平林龍太郎, 鶴見直也, 高偉, 清野慧

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キーワード: 転写, 計測基準面, ナノ計測, 樹脂素材

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抄録

サーフェスエンコーダ用計測基準面である2次元角度格子は現在高速加工や大面積に加工する事は困難なので,形状転写加工によって短時間·高精度·大面積に創成することを提案する.本論文では形状転写加工としてUV転写加工を用いる.基礎実験として平面転写加工を行いその有効性を確認した後,開発したローラ転写装置を用いたUVローラ転写加工により大面積2次元角度格子を創成した.

責任著者(Corresponding author)

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