小型自走機械群による超精密生産機械システム

第91報　極微少液滴塗布機構の精密自動振幅制御

抄録

本研究では、uTAS分野において活用可能な、微少量の液体をハンドリングする分注機構を搭載した超小型ロボットの開発を行っている。前報までに振動モータを利用した微少液滴塗布機構を開発してきたが、振動の振幅制御を手動で行っていた為、作業に熟練を要した。今回、微小変位を高速に測定できる渦電流式変位センサ用いて自動的に振幅制御を行う手法を新たに開発したので、この原理および性能について報告する。