光学樹脂材料の超精密切削加工の試み

林 偉民; 劉 慶; 森田 晋也; 上原 嘉宏; 大森 整

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.790.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: O61

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.790.0

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主催: 社団法人精密工学会

超精密マイクロ機械加工(1)

光学樹脂材料の超精密切削加工の試み

*林偉民, 劉慶, 森田晋也, 上原嘉宏, 大森整

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キーワード: 光学樹脂, 切削加工, 単結晶ダイヤモンドバイト, V溝, 形状精度, 加工面粗さ

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抄録

フッ素系光学樹脂であるサイトップ(Cytop)は紫外光から近赤外光の幅広い領域において高い光透過性,優れた透明性を持ち,光学素子の適用材料として高く期待されている.その加工特性を調査するため,超精密ダイヤモンド切削加工によるサイトップ材料の平面加工,マイクロV溝アレイ加工を行い、その結果について報告する.

責任著者(Corresponding author)

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