マイクロアクチュエータを利用したマイクロ加工機の開発 直動型静電マイクロアクチュエータによる工具デバイスの試作

福村 智一; 山口 智美; 樋口 誠宏

doi:10.11522/pscjspe.2005S.0.88.0

2005年度精密工学会春季大会

セッションID: B33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2005S.0.88.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

加工機械のマイクロ化(1)

マイクロアクチュエータを利用したマイクロ加工機の開発

直動型静電マイクロアクチュエータによる工具デバイスの試作

*福村智一, 山口智美, 樋口誠宏

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キーワード: マイクロマシニング, シリコンファブリケーション, 静電マイクロアクチュエータ, 異方性エッチング, マイクロピラミッド

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抄録

様々な電子機器のデバイス部品を省エネルギーかつ低コストで製造するために,加工機の小型化が進められている.本研究では,μmオーダの加工機の実現を目的とする.本報では,工具の運動部分に,シリコンファブリケーションによる直動型静電マイクロアクチュエータを適用し,かつその表面に,異方生エッチングによりマイクロピラミッド群の切れ刃を形成した工具デバイスの試作を行った.

責任著者(Corresponding author)

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