超精密軸受回転誤差の原子トラッキングによる直接測定

第1報：測定原理と装置構想

抄録

著者らは、走査型トンネル顕微鏡（STM）の探針を、結晶格子表面の特定原子にロックする制御（原子トラッキング制御）を開発した。本報では、精密軸受の端面に基準となる結晶格子とSTMを配置し、回転中心近傍に存在する特定の原子を、原子トラッキング法で3次元的に追尾し、軸受けの回転誤差を直接測定する手法を提案する。報告では、原理と装置構想に関し述べる。