非球面形状のオンマシン計測システムの開発（第1報） 接触型オンマシン計測システムの高精度化

大西 孝; 鈴木 浩文; 山本 雄士; 森脇 俊道; 沖野 正; 守安 精; 山形 豊

doi:10.11522/pscjspe.2006A.0.217.0

2006年度精密工学会秋季大会

セッションID: C68

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006A.0.217.0

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主催: 社団法人精密工学会

曲面・微細形状・機能性材料の超精密加工と計測(2)

非球面形状のオンマシン計測システムの開発（第1報）

接触型オンマシン計測システムの高精度化

*大西孝, 鈴木浩文, 山本雄士, 森脇俊道, 沖野正, 守安精, 山形豊

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キーワード: 機上測定, 形状測定, 非球面, 空気静圧軸受, 測定力制御, セラミックプローブ

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抄録

近年，光学デバイスなど，非球面形状の超精密機上計測の必要性が高まりつつある．従来のプローブを用いた測定方法では，測定圧や温度変化によるプローブの変形，測長計のドリフトといった問題がある．そこで本研究では，高剛性・低熱膨張・軽量のセラミック製のエアベアリングスライドに用いることを提案し，従来の材質による測定装置との比較計算を行った．また，実際にセラミックにより測定装置を製作し，その測定結果を考察する．

責任著者(Corresponding author)

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