レーザ誘導方式深穴形状精度測定システムの開発

誤差解析

抄録

深穴の精度を評価する目的で、これまでにオートコリメーション方式の測定ユニットを設計・製作し、その測定精度を評価してきた。レーザで誘導する本体に測定ユニットを取り付け、穴壁を螺旋状に走査し穴精度を測定する。本報では、光線追跡により各種光学系の誤差を含んだ評価関数を導出し測定精度に及ぼす影響について検討した。