エバネッセント光を利用したナノ光造形法の研究（第7報） サブミクロン面内構造創製の検討

梶原 優介; 武内 徹; 高橋 哲; 高増 潔

doi:10.11522/pscjspe.2006A.0.821.0

2006年度精密工学会秋季大会

セッションID: K32

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2006A.0.821.0

会議情報

主催: 社団法人精密工学会

三次元造形(1)

エバネッセント光を利用したナノ光造形法の研究（第7報）

サブミクロン面内構造創製の検討

*梶原優介, 武内徹, 高橋哲, 高増潔

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キーワード: エバネッセント光, 光造形法, 三次元造形, サブミクロン

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抄録

本研究は，三次元微小構造の創成を目的として，光エネルギ局在特性を有するエバネッセント光と，工業的価値の高い一括面露光型光造形法を融合させることによって全く新しい微小構造創製法の確立を目指している．本報では，三次元造形時の各層の面内構造を創製するにあたり，マスクの導入などによってサブミクロン分解能を持つ面内構造創製の検討を行ったので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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