ブルドン・チューブ・アクチュエータ（BTA）用サーボバルブの研究

抄録

我々は，ブルドン管を応用した油圧揺動形アクチュエータであるBTAの精密位置決めの実現と微細加工用自動旋盤への応用を目指している．BTAは摺動部がない為，摩擦損失・発熱がほぼなく，圧力に比例した回転角を出力する．この為，回転角の分解能の向上には，流量制御でなく微細な圧力制御が可能なレギュレータが必要となった．
本稿では試作したレギュレータによる圧力制御及びBTAの特性向上の結果を報告する．